當(dāng)前位置:艾博納微納米科技(江蘇)有限責(zé)任公司>>儀器設(shè)備>>位移臺>> 60*60電動旋轉(zhuǎn)臺
產(chǎn)品名稱
電動旋轉(zhuǎn)臺60x60
信息
適用于硅片的打標(biāo)等的微小角度調(diào)整用自動平臺。
最大速度60°/sec
平臺臺面材料鋁合金
傳感器型號微型光電傳感器:GP1S097HCZ(夏普(株))
臺面尺寸φ60mm
傳動副間隙0.05°
分辨率(半步)≒0.0027°/脈沖
分辨率(整步)≒0.0053°/脈沖
扭矩剛度1″/N?cm
極限位置傳感器有(常閉)
空行程0.003°
定位精度0.05°
導(dǎo)軌形式滾動軸承
驅(qū)動機構(gòu)滾珠絲杠+鋼帶
轉(zhuǎn)動范圍±5°
近接原點傳感器無
重復(fù)定位精度0.003°
原點傳感器有(常開)
最小位移量 (參考數(shù)據(jù))0.5mdeg
自重0.5kg
承載能力29.4N(3.0kgf)
同心度10μm
表面處理黑色氧化
平行度50μm
臺面跳動量0.01mm
傳感器 信號的含義遮光時:輸出晶體管OFF(截止):極限位置傳感器
遮光時:輸出晶體管ON(導(dǎo)通):原點傳感器
傳感器 消耗電流60mA以下(單個傳感器20mA以下)
傳感器 輸出端電氣特性NPN集電極開路輸出 DC30V以下50mA以下
傳感器 電源電壓DC5~24V±10%
電機 步距角0.72°
電機 類型5相步進電機 0.75A/相(多摩川精機(株))
電機 型號TS3664N4E10(□24mm)
控制器GSC-01、GIP-101、GSC-02、SHOT-702、SHOT-302GS、SHOT-304GS、HIT-M?HIT-S、PGC-04-U、HSC-103
驅(qū)動器SG-5M?SG-5MA、MC-S0514ZU、SG-514MSC、MC-7514PCL